[发明专利]用于光刻设备的调焦调平系统有效
| 申请号： | 201410110020.4 | 申请日： | 2014-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN104950583B | 公开（公告）日： | 2017-08-25 |
| 发明（设计）人： | 唐平玉;房晓俊 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于光刻设备的调焦调平系统，其特征在于，包括至少一套信号测量系统以及一套信号处理与控制系统；所述信号处理与控制系统用于在获取调焦调平信号后调整被测对象的水平运动或垂直运动，所述信号测量系统包括一照明组件、梯度透镜组和探测组件；所述照明组件用于提供一光源，所述光源经所述梯度透镜组成像至一所述被测对象表面形成一聚焦光点，所述聚焦光点反射后至所述探测组件形成一成像光点，所述聚焦光点与所述成像光点形成一共轭关系，所述成像光点带有所述被测对象表面的所述调焦调平信号，所述探测组件将所述调焦调平信号传递给所述信号处理与控制系统。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 设备 调焦 系统 | ||
【主权项】：
一种用于光刻设备的调焦调平系统，其特征在于，包括至少一套信号测量系统以及一套信号处理与控制系统；所述信号处理与控制系统用于在获取调焦调平信号后调整被测对象的水平运动或垂直运动，所述信号测量系统包括一照明组件、梯度透镜组和探测组件；所述照明组件用于提供一光源，所述光源经所述梯度透镜组成像至一所述被测对象表面形成一聚焦光点，所述聚焦光点反射后至所述探测组件形成一成像光点，所述聚焦光点与所述成像光点形成一共轭关系，所述成像光点带有所述被测对象表面的所述调焦调平信号，所述探测组件将所述调焦调平信号传递给所述信号处理与控制系统；所述信号测量系统位于所述光刻设备的投影物镜的内部，所述梯度透镜组与所述投影物镜共用所述投影物镜内的至少一个透镜；还包括一可调传动装置，所述可调传动装置由一圆周运动机构和一径向运动机构组成，所述可调传动装置用于驱动所述信号测量系统在所述投影物镜内的某一水平面中运动。
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