[发明专利]用于光刻设备的调焦调平系统

权利要求书

1.一种用于光刻设备的调焦调平系统，其特征在于，包括至少一套信号测量系统以及一套信号处理与控制系统；所述信号处理与控制系统用于在获取调焦调平信号后调整被测对象的水平运动或垂直运动，所述信号测量系统包括一照明组件、梯度透镜组和探测组件；所述照明组件用于提供一光源，所述光源经所述梯度透镜组成像至一所述被测对象表面形成一聚焦光点，所述聚焦光点反射后至所述探测组件形成一成像光点，所述聚焦光点与所述成像光点形成一共轭关系，所述成像光点带有所述被测对象表面的所述调焦调平信号，所述探测组件将所述调焦调平信号传递给所述信号处理与控制系统；所述信号测量系统位于所述光刻设备的投影物镜的内部，所述梯度透镜组与所述投影物镜共用所述投影物镜内的至少一个透镜；还包括一可调传动装置，所述可调传动装置由一圆周运动机构和一径向运动机构组成，所述可调传动装置用于驱动所述信号测量系统在所述投影物镜内的某一水平面中运动。

2.如权利要求1所述的用于光刻设备的调焦调平系统，其特征在于，所述梯度透镜组为一梯度折射率透镜组。

3.如权利要求2所述的用于光刻设备的调焦调平系统，其特征在于，所述信号测量系统的数量为三个，所述三个信号测量系统等距离分布于所述投影物镜的镜筒的同一圆周面上。

4.如权利要求1所述的用于光刻设备的调焦调平系统，其特征在于，所述探测组件按照光线传播的方向依次包括一与所述光刻设备的投影物镜共用的镜片、分光棱镜、探测针孔、色散棱镜及共焦测量探测器。

5.如权利要求1所述的用于光刻设备的调焦调平系统，其特征在于，所述圆周运动机构由嵌入所述投影物镜的镜筒内壁上的圆周导轨组成，用于相对所述镜筒做顺时针或逆时针运动。

6.如权利要求1所述的用于光刻设备的调焦调平系统，其特征在于，所述径向运动机构由电动伸缩机构组成，所述电动伸缩机构的一头固定与所述圆周运动机构上；所述径向运动机构由一直径导轨和一直线电机组成，所述直线电机固定在所述圆周运动机构上。

7.如权利要求1所述的用于光刻设备的调焦调平系统，其特征在于，所述光源为非曝光光源。

8.如权利要求1所述的用于光刻设备的调焦调平系统，其特征在于，还包括用于所述探测对象表面光强补偿的光学元件组，所述光强补偿光学元件组由所述信号处理与控制系统驱动。

9.如权利要求8所述的用于光刻设备的调焦调平系统，其特征在于，所述光强补偿光学元件组为凹反射镜或者由凸透镜和平面反射镜组成。