[发明专利]检测温度的装置和方法以及用于处理衬底的装置

摘要

本发明提供一种检测温度的装置和方法以及用于处理衬底的装置，通过高温计以非接触方式检测温度。其中，检测温度的装置包含湿度传感器，用以测量湿度值；温度补偿数据库，用以存储每一湿度值的温度补偿值；以及高温计，假设包含作为由于湿度而具有小于第一阈值的透射率的波段的透射率限制波段以及作为由于湿度而具有大于第二阈值的透射率的波段的透射率允许波段的波段为待补偿的波段，通过将对应于由所述湿度传感器检测的湿度值的温度补偿值与通过测量从待测量的物体辐射的所述待补偿的波段的波长强度而计算的待补偿的温度相加来计算非接触温度。

主权项

一种用于检测温度的装置，其特征在于包括：湿度传感器，经配置以测量湿度值；温度补偿数据库，经配置以存储针对每一湿度值的温度补偿值；以及高温计，其中待补偿的波段包括透射率限制波段以及透射率允许波段，所述透射率限制波段由于湿度而具有小于第一阈值的透射率，所述透射率允许波段由于湿度而具有大于第二阈值的透射率，通过将对应于由所述湿度传感器检测的所述湿度值的温度补偿值与通过测量从待测量的物体辐射的所述待补偿的波段的波长强度而计算的待补偿的温度相加来计算非接触温度。