[发明专利]一种激光分子束蒸发系统变向传动定位机构

摘要

一种激光分子束蒸发系统变向传动定位机构，克服了现有技术采用磁力杆进行样品传递交接，由于磁力杆只能在真空室外进行操作，当两个真空室距离较远时，需要增加磁力杆的长度，且需要两人或两人以上配合操作来调节距离和角度，或者从两侧真空室进料，增加真空室开口和真空室与法兰之间的焊点，增加设备加工成本的问题，特征是采用转动组件和加工有螺旋曲线滑道的导向套实现样品交接，有益效果是，可以把整套机构安装在真空室里，减少了真空室开口，从而减少了真空室不必要的漏点，该机构安装在两个真空室之间，1人就可以在真空室外操作，便于观察样品交接情况，由于采用螺旋滑道，可以实现样品叉自动旋转角度，不需要人为或者机械手来调节角度。

主权项

一种激光分子束蒸发系统变向传动定位机构，包括转动组件（1）和导向套（2），其特征在于，所述导向套（2）的基体为无缝圆管，在无缝圆管基体上加工有导向滑道（2‑1）和螺纹安装孔（2‑2），所述导向滑道（2‑1）为螺旋曲线滑道，所述转动组件（1）有一个用导磁材料制作的定位冒（1‑2），定位冒（1‑2）右端设有定位块（1‑2‑1），定位冒（1‑2）左端设有2个对称的磁铁吸合块（1‑2‑2），在定位冒（1‑2）中间安装内支撑套（1‑5），在内支撑套（1‑5）两端各安装1个深沟球轴承（1‑7），在定位冒（1‑2）右侧穿入转动轴（1‑3）并穿过内支撑套（1‑5）和深沟球轴承（1‑7），在转动轴（1‑3）上安装挡圈（1‑8），所述转动轴（1‑3）上设有磁铁固定座（1‑3‑1）、基片叉连接孔（1‑3‑2）、导向销安装孔（1‑3‑3）和定位台（1‑3‑4），定位台（1‑3‑4）上根据基片叉实际转动角度加工出2个定位面，2个定位面之间的夹角为α，在磁铁固定座（1‑3‑1）中安装磁铁（1‑4），然后用螺母（1‑9）锁紧固定，在导向销安装孔（1‑3‑3）中安装导向销（1‑1），并用紧定螺钉（1‑6）锁紧固定。