[发明专利]用于高生产能力样品制备的到纳米操纵器的多样品附接有效

专利信息
申请号: 201410094387.1 申请日: 2014-03-14
公开(公告)号: CN104049097B 公开(公告)日: 2018-02-27
发明(设计)人: M.施米德特;S.斯通;C.塞诺维奇 申请(专利权)人: FEI公司
主分类号: G01N35/10 分类号: G01N35/10
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司72001 代理人: 谢攀,刘春元
地址: 美国俄*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种提取和处理多个样品用于S/TEM分析的改进的方法。本发明的优选实施例利用一种在堆叠形成中一次附接多个样品的显微操纵器和一种将每个样品放置到TEM栅格上的方法。通过使用一种允许加工多个样品的方法,样品制备的生产能力得到显著提高。
搜索关键词: 用于 生产能力 样品 制备 纳米 操纵 多样 品附接
【主权项】:
一种从衬底提取多个薄层的方法,包括:制备有待提取的至少两个薄层;移动操纵器与第一薄层接触,使得该第一薄层附接到该操纵器;移动该操纵器从而使得该第一薄层与第二薄层接触,这将该第二薄层附接到该第一薄层;用该操纵器提取该第一薄层和该第二薄层。
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