[发明专利]基于栅格分束器的空间调制型光谱仪及制作方法

摘要

基于栅格分束器的空间调制型光谱仪及制作方法，涉及光谱分析仪器领域，解决现有光谱仪结构内部存在着可动部件，导致其体积、重量较大的问题，包括准直系统、样品池、干涉系统、缩束系统和探测器，干涉系统包括多级小阶梯微反射镜、栅格型分束器和多级大阶梯微反射镜；红外光源发出的光经准直系统准直成红外平行光，平行光经过样品池样品吸收后经栅格型分束器分成相干的两束光；两束光分别入射到多级大阶梯微反射镜和多级小阶梯微反射镜上，并经多级小阶梯微反射镜反射到栅格型分束器；经栅格型分束器反射后的光经缩束系统后，在红外面阵探测器上获得干涉条纹；对干涉条纹做傅里叶变换就可以获得待测物的光谱信息。

主权项

基于栅格分束器的空间调制型光谱仪，包括红外光源(1)、准直系统(2)、样品池(3)、干涉系统(4)、缩束系统(5)和红外CCD(6)，其特征是，所述干涉系统(4)包括多级小阶梯微反射镜(8)、栅格型分束器(7)和多级大阶梯微反射镜(9)；红外光源(1)发出的光经准直系统(2)准直成红外平行光，所述红外平行光经过样品池(3)样品吸收后经栅格型分束器(7)分成相干的两束光；一束光入射到多级大阶梯微反射镜(9)上，并经多级大阶梯微反射镜(9)反射到栅格型分束器(7)，另一束光入射到多级小阶梯微反射镜(8)上，并经多级小阶梯微反射镜(8)反射到栅格型分束器(7)；所述经栅格型分束器(7)反射后的光经缩束系统(5)后，在红外CCD(6)上获得干涉条纹；对干涉条纹做傅里叶变换就可以获得待测物的光谱信息。