[发明专利]一种大口径气体静压转台结构

摘要

本发明涉及超精密制造装备技术领域，具体涉及一种大口径气体静压转台结构。其包括定位芯轴和连接芯轴，台面、连接芯轴和下静压板固定连接为一体，定位芯轴穿过连接芯轴的中心孔一端与台面的定位孔配合，另一端与下静压板的定位孔配合，壳体支座的上下凹槽设置上浮多孔质节流器、下浮多孔质节流器，径向多孔质节流器安装于壳体支座和连接芯轴之间，圆盘编码器安装于力矩电机动子的空腔中。本发明采用“工字型”气体静压结构，通过气膜的均化作用提高转台的精度，并且采用背压结构设计，提高转台的承载刚度；双芯轴结构，保证转台的装配精度和转动精度；转台通过力矩电机直接驱动，并配置高精度圆盘编码器，提高转台的运动精度和定位精度。

主权项

一种大口径气体静压转台结构，包括台面、下静压板、芯轴、壳体支座、电机安装座、力矩电机，台面通过芯轴与下静压板连接，壳体支座置于台面和电机安装座之间，力矩电机安装于电机安装座内，其特征在于，所述的芯轴包括定位芯轴和连接芯轴，台面、连接芯轴和下静压板固定连接为一体，所述的定位芯轴穿过连接芯轴的中心孔一端与台面的定位孔配合，另一端与下静压板的定位孔配合，所述的台面与壳体支座的接触面上设置上凹槽，上浮多孔质节流器置于上凹槽内，所述的壳体支座与下静压板的接触面设置下凹槽，下浮多孔质节流器置于下凹槽内，径向多孔质节流器安装于壳体支座和连接芯轴之间，力矩电机动子与下静压板连接，力矩电机定子通过电机安装座与壳体支座连接，圆盘编码器通过编码器安装座安装于力矩电机动子的空腔中。