[发明专利]一种大口径气体静压转台结构

说明书

技术领域

本发明涉及超精密制造装备技术领域，具体涉及一种大口径气体静压转台结构。

背景技术

精密及超精密机床是精密及超精密加工的基础。机床转台精度直接影响工件加工精度，因此转台是超精密机床保证加工精度的核心部件，不仅要具有高的旋转精度，而且要具有高承载刚度、良好的热膨胀性能、抗振性及加工装配性等。

目前大口径转台由于采用传统接触轴承使得加工精度低，气体静压转台承载能力差等问题，传统的直接接触轴承摩擦阻力大，静压轴承工作在极低的转速出现爬行和蠕动现象，工作在极高的转速下而易产生温升，振动和噪声较大；润滑剂对环境有污染；滚动轴承致命的弱点是寿命短，寿命分布离散，特别是高速轴承更甚。

发明内容

针对现有技术上存在的不足，本发明提供一种加工精度高、承载能力强、精度保持性好的大口径气体静压转台结构。

为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：

一种大口径气体静压转台结构，包括台面、下静压板、芯轴、壳体支座、电机安装座、力矩电机，台面通过芯轴与下静压板连接，壳体支座置于台面和电机安装座之间，力矩电机安装于电机安装座内，其所述的芯轴包括定位芯轴和连接芯轴，台面、连接芯轴和下静压板固定连接为一体，所述的定位芯轴穿过连接芯轴的中心孔一端与台面的定位孔配合，另一端与下静压板的定位孔配合，所述的台面与壳体支座的接触面上设置上凹槽，上浮多孔质节流器置于上凹槽内，所述的壳体支座与下静压板的接触面设置下凹槽，下浮多孔质节流器置于下凹槽内，径向多孔质节流器安装于壳体支座和连接芯轴之间，力矩电机动子与下静压板连接，力矩电机定子通过电机安装座与壳体支座连接，圆盘编码器通过编码器安装座安装于力矩电机动子的空腔中。

上述的一种大口径气体静压转台结构，其所述的壳体支座尺寸与机床或测量机安装孔配合。 

上述的一种大口径气体静压转台结构，其所述的台面为花岗岩台面。

上述的一种大口径气体静压转台结构，其所述的下静压板通过连接板连接于电机动子。 

上述的一种大口径气体静压转台结构，其所述的上浮多孔质节流器和下浮多孔质节流器均由24块扇形多孔质材料组成，并由钢制镶块隔开。

上述的一种大口径气体静压转台结构，其所述的上浮多孔质节流器和下浮多孔质节流器高出壳体支座1mm。

上述的一种大口径气体静压转台结构，其所述的径向多孔质节流器均布分压槽，且其外径带有1°锥角。

上述的一种大口径气体静压转台结构，其所述的上浮多孔质节流器、下浮多孔质节流器、径向多孔质节流器均通过粘接剂粘贴固定。

有益效果：

本发明采用上述结构，具有以下优点：

1）台面、芯轴、下静压板组成的“工字型”结构在保证转台承载的前提下，提高了气体静压转台的承载刚度；

2）定位芯轴和连接芯轴的双芯轴结构，定位芯轴保证了台面、连接芯轴和下静压板装配的同轴度，连接芯轴主要起连接台面、下静压板以及承受径向承载的作用，以保证转台的装配精度和转动精度；

3）力矩电机驱动和高精度的圆盘编码器反馈，实现转台的高精度运动。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式来详细说明本发明；

图1为本发明的结构图。

图2为上浮多孔质节流器分布图。

图3为下浮多孔质节流器分布图。

图4为径向多孔质节流器结构示意图。

具体实施方式

为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。