[发明专利]一种可测流速的高精度低压气体发生装置及其使用方法

摘要

本发明提供一种可测流速的高精度低压气体发生装置，包括供压组件、供气组件及连接于所述供压组件、供气组件之间的连接组件，本发明通过加压液体的位置势能差△h提供稳定的低压气体，气体的压力精度高，可以达到0.1kPa；提供的气体压力稳定性好，气压不会出现浮动；同时还可以测量气体的流动速率，测量精度高，精度为1 ml/s；所提供的气体不局限于空气，可以是任意气体，特别相对于易燃易爆的气体（如甲烷），限定供气量，有利于安全；装置构造简单，成本较低。本发明还公开一种可测流速的高精度低压气体发生装置的使用方法。

主权项

一种可测流速的高精度低压气体发生装置，其特征在于：包括：供压组件、供气组件及连接于所述供压组件、供气组件之间的连接组件，所述供压组件包括供压瓶、进气管、设置于进气管的进气管阀门，所述进气管连通于供压瓶的内部与外部，且所述进气管的末端伸入加压液体中并靠近所述供压瓶底部设置，所述供气组件包括供气瓶、设置于所述供气瓶顶部的供气管及设置于供气管的供气管阀门，所述连接组件包括连接导管、三向阀门、回流导管、加压导管，所述连接导管的一端连接于所述供压瓶底部，连接导管的另一端通过三向阀门分别连接回流导管和加压导管，在所述三向阀门的控制下使连接导管与加压导管相互连通，或使连接导管与回流导管相互连通，所述加压导管位于上方的末端与进气管位于下方的末端在竖直方向具有高度差。