[发明专利]一种带轨道的圆锥抛光装置

摘要

本发明涉及一种带轨道的圆锥抛光装置，适用于光学元件、非晶薄膜衬底等工件表面的研磨与抛光加工，它包括研磨盘，轨道，支撑架，研磨盘为立体圆锥形研磨盘，研磨盘表面的磨料粒度随着圆锥形斜面变化，越靠近圆锥顶端磨料粒度越高；轨道为工字型轨道，轨道为锥螺旋形轨道述轨道上每一点距离研磨盘的垂直距离均相等；研磨盘固定在底座上；工件移动机构的一端连接在轨道上，另一端与研磨盘贴合。本发明结构简单紧凑，成本较低，自动化程度高，通过圆锥形研磨盘的磨料粒度梯度化设计，可以对工件分别进行从粗磨到精抛的不同程度的加工。

主权项

一种带轨道的圆锥抛光装置，其特征在于：包括研磨盘，轨道，支撑架，所述研磨盘为立体圆锥形研磨盘，所述研磨盘表面的磨料粒度随着圆锥形斜面变化，越靠近圆锥顶端磨料粒度越高；所述研磨盘固定在底座上；所述轨道通过支撑架固定；所述轨道为工字型轨道，所述轨道为锥螺旋形轨道，所述轨道上每一点距离研磨盘的垂直距离均相等；所述工字型轨道的扭转角度一致；所述工件移动机构的一端连接在轨道上，另一端与研磨盘贴合；所述工件移动机构包括气缸、电机、支撑座、工件安装头、滑轮座和叶轮，所述气缸的活塞杆穿过支撑座与工件安装头的一端通过滚子轴承连接，工件安装头的侧壁通过轴承连接支撑座的内侧壁；所述工件安装头的底部设有工件安装孔，所述工件安装孔至少有两个，均匀分布在工件安装头的底部；所述工件安装头上还设有叶轮，气缸的侧壁上设有喷液管，所述气缸上的喷液管正对着叶轮；所述气缸的底部固接滑轮座，所述滑轮座内设有三个内置滑轮，所述三个内置滑轮包括一个主动滑轮和两个被动滑轮，所述三个内置滑轮与工字型轨道的三个面贴合，所述主动滑轮通过电机驱动。