[发明专利]一种同步扫描激光退火装置

摘要

本发明属于半导体制造设备和技术领域，具体涉及一种同步扫描激光退火装置。所述装置，包括激光光源、依次设置在光路上的电光控制单元、准直扩束单元、匀光单元、聚焦单元和工件台；所述激光光源为完全线偏振光；所述激光光源与所述工件台之间通过同步板卡进行同步控制；所述电光控制单元通过电光开关组件和同步信号控制所述激光光源的光束的通过或截止。本发明提供的技术方案通过在激光器外部添加电光开关组件，在扫描过程中，利用同步电光开关组件控制光束的通过或截止，实现目标区域的退火，该方法规避了现有技术的缺陷，控制便捷，不会造成激光器自身的损失，并且可以通过电压控制退火激光的强度，能够在毫秒量级快速实现退火能量大小的调整。

主权项

1.一种同步扫描激光退火装置，其特征在于，包括激光光源、依次设置在光路上的电光控制单元、准直扩束单元、匀光单元、聚焦单元和工件台；所述激光光源为完全线偏振光；所述激光光源与所述工件台之间通过同步板卡进行同步控制；所述电光控制单元通过电光开关组件和同步信号控制所述激光光源的光束的通过或截止；所述电光开关组件包括依次设置在光路上的普克尔盒、偏振分束器和设置在偏振分束器反射或透射光光路上的光束收集器；所述激光光源发射的完全线偏振光分为第一光路和第二光路传播，所述电光控制单元包括第一偏振分束器、设置在第一光路上的第一电光开关组件和设置在第二光路的第二电光开关组件，第一电光开关组件透射或反射出第一束线偏振光，第二电光开关组件透射或反射出第二束线偏振光，所述第一束线偏振光和第二束线偏振光正交并经第一偏振分束器合并。