[发明专利]微机电装置

摘要

本发明公开一种微机电装置，包括一梁柱体、一支撑体、及一接合物。梁柱体具有一第一侧与一第二侧，且第一侧与第二侧彼此相对。支撑体用以支撑梁柱体且相邻但不相连于梁柱体，此支撑体具有一第三侧与相对于第三侧的一第四侧，且支撑体包括多个第一束缚层与多个第二束缚层，这些第一束缚层与这些第二束缚层彼此交错相叠，其中第二侧与第三侧彼此相邻。接合物位于第二侧与第三侧之间、第一侧、及第四侧，此接合物用以接合并绝缘梁柱体与支撑体。本发明的微机电装置增强结构的强度，并使结构稳定、坚固且不变形，可有效改善其灵敏度，以进而提升于微机电的应用范围。

主权项

一种微机电装置，其特征在于，其包括：一梁柱体，具有一第一侧与一第二侧，该第一侧与该第二侧彼此相对；一支撑体，用以支撑该梁柱体且相邻但不相连于该梁柱体，该支撑体具有一第三侧与相对于该第三侧的一第四侧，且该支撑体包括多个第一束缚层与多个第二束缚层，该些第一束缚层与该些第二束缚层彼此交错相叠，其中该第二侧与该第三侧彼此相邻；以及一接合物，位于该第二侧与该第三侧之间、该第一侧、及该第四侧，该接合物用以接合并绝缘该梁柱体与该支撑体。