[发明专利]用于铜基金属层和铜基金属层与金属氧化物层的层压膜的蚀刻剂组合物以及制备金属布线的方法在审
| 申请号： | 201410065421.2 | 申请日： | 2014-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN104018159A | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 金镇成;李恩远;李铉奎 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;H05K3/06 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开了一种用于铜基金属层和包括金属氧化物层与铜基金属层的层压膜的蚀刻剂组合物，以及使用该蚀刻剂组合物形成布线的方法。该蚀刻剂组合物包括：15-25wt.%的过氧化氢，0.01-1.0wt.%的含氟化合物，0.1-1.0wt.%的唑类化合物，0.5-5wt.%的在分子中具有氮原子和羧基的水溶性化合物，0.5-3.0wt.%的乙醇酸，0.5-3.0wt.%的除乙醇酸之外的有机酸，0.1-2.0wt.%的硝酸、硫酸或其盐，0.001-5.0wt.%的多元醇型表面活性剂，和作为余量的水，从而具有优异的刻蚀图案的平直度，显示改进的锥形轮廓。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 基金 金属 氧化物 层压 蚀刻 组合 以及 制备 布线 方法 | ||
【主权项】：
一种用于铜基金属层和包括金属氧化物层与铜基金属层的层压膜的蚀刻剂组合物，包括：15‑25wt.%的过氧化氢，0.01‑1.0wt.%的含氟化合物，0.1‑1.0wt.%的唑类化合物，0.5‑5wt.%的在分子中具有氮原子和羧基的水溶性化合物，0.5‑3.0wt.%的乙醇酸，0.5‑3.0wt.%的除乙醇酸之外的有机酸，0.1‑2.0wt.%的硝酸、硫酸或其盐，0.001‑5.0wt.%的多元醇型表面活性剂，和作为余量的水。
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