[发明专利]MOCVD尾气处理系统及其方法

摘要

本发明揭示了一种MOCVD尾气处理系统及其处理方法，所述系统包括用于过滤尾气中的粉尘过滤器，缓冲罐的进口端与过滤器出口端连接，用于稳定进入后续装置的尾气的气体总量；反应炉的进口端与缓冲罐的出口端连接，纯化器的进口端与反应炉的出口端连接。反应后的尾气进行过滤后依次进入到缓冲罐、反应床和纯化器，经过设置有催化剂的反应床将尾气中的氨气分解，再通过纯化器对气体中的氢气进行进一步的纯化，本发明的有益效果主要体现在：通过反应床内对尾气中的氨气进行分解，尾气中氨气的转化率可高达99%以上，最终形成氮气和氢气，进行二次利用、收集，尾气处理效果好。

主权项

MOCVD尾气处理系统，其特征在于：所述系统包括过滤器，所述过滤器内设置有石英砂的滤芯，用于过滤尾气中的粉尘；缓冲罐，缓冲罐的进口端与过滤器出口端连接，用于稳定进入后续装置的尾气的气体总量；反应炉，反应炉的进口端与缓冲罐的出口端连接，所述反应炉内设置有金属催化剂，用于尾气中的氨气在反应炉中进行分解；纯化器，纯化器的进口端与反应炉的出口端连接，所述纯化器的进、出口端通过钯膜进行隔离，用于氢气的进一步纯化。