[发明专利]测定装置

摘要

本发明提供一种测定装置。该分光测定装置（1）具备：波长可变干涉滤波器（5），具备固定反射膜、可动反射膜、及使固定反射膜与可动反射膜间的间隙尺寸变更的静电致动器；检测器（12），接收入射光；滤波器控制部（22），将固定反射膜与可动反射膜间的间隙尺寸设定为与比测定对象波长区域小的第一波长的光相应的第一尺寸；截止滤波器（11），阻截比测定对象波长区域小的波长的光；以及光量获取部（23），获取在将间隙尺寸设为第一尺寸时由检测器（12）接收的杂散光的光量。

主权项

一种测定装置，其特征在于，具备：截止滤波器，阻截入射光中的规定波长区域的光；第一反射膜，使透过所述截止滤波器的光的一部分反射，一部分透过；第二反射膜，与所述第一反射膜相对，使透过所述第一反射膜的光的一部分反射，一部分透过；间隙变更部，变更所述第一反射膜与所述第二反射膜间的间隙尺寸；受光部，接收透过所述第二反射膜的光；间隙设定部，控制所述间隙变更部，将所述间隙尺寸设定为与所述规定波长区域内的第一波长相应的第一尺寸；光量获取部，获取在所述间隙尺寸被设定为所述第一尺寸时由所述受光部接收的光量；测定部，获取在所述间隙尺寸变更为与所述规定波长区域以外的第二波长相应的间隙尺寸时由所述受光部接收的所述第二波长的光的光量；以及光量校正部，获取从所述测定部所获取的所述第二波长的光的光量中减去所述光量获取部所获取的光量后的光量作为所述第二波长的光的光量。