[发明专利]校准椭偏测量中应力元件带来的误差影响的方法在审
| 申请号： | 201410057946.1 | 申请日： | 2014-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN104864815A | 公开（公告）日： | 2015-08-26 |
| 发明（设计）人： | 钟凤娇;高海军;党江涛 | 申请（专利权）人： | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01N21/21 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱;邵桂礼 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种校准椭偏测量中应力元件带来的误差影响的方法，该方法包括如下步骤：i)找出应力元件的本征坐标系；ii)测量出应力元件在本征坐标系下的Mueller矩阵；iii)将应力元件装调到目标椭偏仪中。通过对硬件装调的设计，物理上减小了应力元件的作用，应力元件引入的误差降到最小；通过硬件装调，使得定标变得简单，定标量减少，降低了数学算法的复杂度。 | ||
| 搜索关键词： | 校准 测量 应力 元件 带来 误差 影响 方法 | ||
【主权项】：
一种校准椭偏测量中应力元件带来的误差影响的方法，其特征在于，包括如下步骤：i)找出所述应力元件的本征坐标系；ii)测量出所述应力元件在所述本征坐标系下的Mueller矩阵；iii)将所述应力元件装调到目标椭偏仪中。
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