[发明专利]基板处理系统及基板反转装置

摘要

本发明是有关于一种基板处理系统及基板反转装置。其中该基板处理系统可连续地进行基板的反转，该基板处理系统具备：第1及第2搬送装置，借由相隔间隙配置的多个单位搬送要素搬送基板；以及基板反转装置，具备一对保持臂群，该一对保持臂群相对于旋转轴配置成旋转对称，且具有绕旋转轴旋转时通过单位搬送要素的间隙的多个保持臂，借由升降手段升降自如；在使一对保持臂群的一方的保持臂具备的多个吸附部吸附于反转对象基板的状态下，使吸附部吸附于反转对象基板，之后，借由使一对保持臂群绕旋转轴旋转180度，使基板反转；一对保持臂群，在基板吸附后、反转完成前的期间，上升地较基板交接位置高，在反转后、解除吸附时，下降至基板交接位置。

主权项

1.一种基板处理系统，其特征在于其具备：第1搬送装置及第2搬送装置，分别将脆性材料基板往第1方向搬送；以及基板反转装置，配置在该第1搬送装置与该第2搬送装置之间，使被该第1搬送装置搬送来的该脆性材料基板反转并交接至该第2搬送装置；该第1搬送装置与该第2搬送装置，借由在与该第1方向正交的第2方向相隔间隙配置的多个单位搬送要素，一边在下方支承一个该脆性材料基板一边搬送；该基板反转装置，具备：一对保持臂群，相对于往该第2方向延伸的旋转轴配置成旋转对称；旋转驱动手段，使该一对保持臂群绕该旋转轴旋转；及升降手段，使该一对保持臂群在该第1搬送装置及该第2搬送装置之间，在交接该脆性材料基板的高度位置即基板交接位置与其上方之间升降；该一对保持臂群分别具有在该第2方向彼此分离配置且绕该旋转轴旋转时通过该间隙的多个保持臂；该多个保持臂分别具备可吸附于该脆性材料基板的多个吸附部；在将该一对保持臂群配置在该基板交接位置的状态下，使属于该一对保持臂群中一方的该多个保持臂的该多个吸附部吸附于作为反转对象的该脆性材料基板即反转对象基板，之后，借由使该一对保持臂群绕该旋转轴旋转180度，使该反转对象基板反转；该一对保持臂群，在该反转对象基板的上表面被吸附于该多个吸附部后、该反转对象基板的反转完成前的期间，上升至较该基板交接位置高处，在该反转对象基板的反转后、该反转对象基板下表面与第2搬送装置的单位搬送要素接触，解除对该反转对象基板下表面的该多个吸附部的吸附时,下降至该基板交接位置。