[发明专利]一种真空紫外激光线宽的测量装置和方法在审
| 申请号： | 201410054932.4 | 申请日： | 2014-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN103868603A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 宗楠;赵巍;许祖彦;彭钦军;张申金;杨峰;王志敏;张丰丰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李迪 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空紫外激光线宽的测量装置和方法，其中：真空腔系统包括腔体和入射窗口，光束准直系统、干涉元件和探测元件均置于所述腔体内；所述入射窗口用于入射真空紫外激光；光束准直系统用于对入射的真空紫外激光进行准直；所述干涉元件为楔形劈尖，用于将准直后的真空紫外激光反射形成两束相干光束，在探测元件表面产生干涉条纹；所述探测元件用于采集所述干涉条纹的信息；数据处理系统用于采集和处理所述探测元件获得的干涉条纹的信息，得到所述真空紫外激光的线宽。本发明解决了现有技术中对于波长小于185nm的真空紫外激光无法直接测量线宽的技术问题，光学结构简单，性能稳定，对连续、准连续和脉冲真空紫外激光均可实时测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 紫外 激光 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种真空紫外激光线宽的测量装置，其特征在于，包括：真空腔系统、光束准直系统、干涉元件、探测元件和数据处理系统；所述真空腔系统包括腔体和入射窗口，所述腔体内为真空或充满对真空紫外激光吸收较低的气体，用于防止真空紫外激光被吸收，所述光束准直系统、干涉元件和探测元件均置于所述腔体内；所述入射窗口位于所述腔体的腔壁上，用于入射真空紫外激光；所述光束准直系统用于对入射的真空紫外激光进行准直；所述干涉元件为楔形劈尖，用于将准直后的真空紫外激光反射形成两束相干光束，在所述探测元件表面产生干涉条纹；所述探测元件为真空紫外波段可用的探测器，用于采集所述干涉条纹的信息；所述数据处理系统在所述腔体外，与所述探测元件相连，用于采集和处理所述探测元件获得的干涉条纹的信息，得到所述真空紫外激光的线宽。
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