[发明专利]双工件台宏微快速交接机构

摘要

双工件台宏微快速交接机构属于夹持抓卡机械，用于光刻机工件台宏动机构和微动台的对接分离，在基体上固装上夹板、第二片簧、杠杆支点和气缸体，动夹头和下夹板配置在上夹板下方，第一片簧将工件台与动夹头连接，可调压力弹簧两端分别与工件台和第一片簧接触配合，在上夹板上配装矩形挡板，在气缸体内配装碟簧、活塞和活塞杆，输气管路将气缸体与常闭二位三通电磁阀连通，在下夹板上固装连接杆，杠杆短臂配装在杠杆支点上，圆弧形凹槽板安装在杠杆短臂一端上，气缸体上的活塞杆外端通过轴承与杠杆长臂一端连接，杠杆长臂的另一端和杠杆短臂的另一端通过伸缩机构连接；本机构具有夹持力大、夹紧快速的特点。

主权项

一种双工件台宏微快速交接机构，其特征在于：在基体上分别固装上夹板(1)、第二片簧(19)、杠杆支点(17)和气缸体(7)，动夹头(4)和下夹板(2)从上至下依次可上下移动的配置在上夹板(1)下方，所述上夹板(1)上的圆弧形凹坑与动夹头(4)上的圆弧形凸起呈插入配合，通过含有柔性铰链结构的第一片簧(5)将工件台(6)与动夹头(4)连接，可调压力弹簧(41)的两端分别与工件台(6)和第一片簧(5)接触配合，在所述的上夹板(1)上配装矩形挡板(31)，矩形挡板(31)与工件台(6)上的矩形凹槽(32)呈插入配合；在所述气缸体(7)内配装碟簧(9)、活塞(8)，所述活塞(8)与活塞杆(10)连接，配装压力传感器(11)的输气管路将气缸体(7)与常闭二位三通电磁阀(12)连通，所述常闭二位三通电磁阀(12)的端口I、II(51、52)分别与大气和气源连通；在所述下夹板(2)上固装连接杆(3)，通过连接杆(3)与第二片簧(19)的固接将下夹板(2)安装在基体上；在杠杆支点(17)上可摆动的配装杠杆短臂(16)，在杠杆短臂(16)的一端安装圆弧形凹槽板(18)，所述圆弧形凹槽板(18)与连接杆(3)一端接触配合，所述短臂(16)的另一端与伸缩机构(15)连接，杠杆长臂(14)的一端与伸缩机构(15)连接，所述杠杆长臂(14)的另一端通过轴承(13)与活塞杆(10)铰连接。