[发明专利]一种微纳米尺度液体浸润形貌观测方法

摘要

本发明提供了一种微纳米尺度液体浸润形貌观测方法。该方法既可以用于紫外光固化的紫外胶液体，也可以用于与紫外胶不相溶的水滴。对于紫外胶液体可以采用双转移和紫外光固化的方法冻结并用扫描电子显微镜（SEM）观测液体形貌。而对于水滴则采用紫外胶液滴包裹冷凝水滴并用紫外光固化的方法来冻结水滴形貌并用SEM观测。根据本发明的观测方法，可以广泛应用于微纳米尺度各种固体微结构表面浸润性的研究。

主权项

一种微纳米尺度液体浸润形貌观测方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：（1）在硅片上滴上紫外固化胶溶液的液滴，再将硅片固定在旋转涂膜仪的转台上，以一定的速率匀胶40秒以上，使溶剂充分挥发得到硅片表面均匀平整的紫外胶液体膜；（2）再用转移膜与硅片上的紫外胶液体膜完全贴合，贴合后保持一段时间后揭下转移膜，将转移膜沾有紫外胶液体的一面与要观察的固体表面贴合，贴合后保持一段时间后揭下转移膜，紫外胶液体就被粘附到固体表面；（3）被粘附到固体表面的紫外胶液体在表面张力和固体表面表面能和微结构共同作用下，自发形成一些热力学稳定的微纳米尺度的浸润形貌，再用紫外光曝光的方法将紫外胶液体固化，从而将紫外胶液体的浸润形貌冻结下来；（4）利用扫描电子显微镜观测步骤（3）冻结后的液体的浸润形貌。