[发明专利]多焦点透镜及其加工设备、加工方法有效
| 申请号： | 201410044664.8 | 申请日： | 2014-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN104808268B | 公开（公告）日： | 2017-03-29 |
| 发明（设计）人： | 陈烽;杨青;边浩;杜广庆;柳克银 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G02B3/10 | 分类号： | G02B3/10;G02B21/02 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司61211 | 代理人： | 王少文 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提出一种多焦点透镜及加工设备和方法，包括产生飞秒激光脉冲280的飞秒激光发生器210、参数调制光路220、光学CCD230、半透半反镜240、光学聚焦镜头250、硬质基板260以及三维平移台270；飞秒激光发生器210、参数调制光路220、窄带高反片240依次位于同一光路；光学CCD230、半透半反镜240、光学聚焦镜头250、硬质基板260位于同一光路，硬质基板260设置于三维平移台270上。本发明多焦点透镜的加工设备及其加工方法，工艺简单、曲面可控。 | ||
| 搜索关键词： | 焦点 透镜 及其 加工 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于三维成像的多焦点透镜，其特征在于，采用以下步骤制备：1)清洗硬质基板材料；2)飞秒激光改性：飞秒激光脉冲经过参数调制后，聚焦到硬质基板(260)表面；飞秒激光脉冲对硬质基板(260)进行不同深度、不同区域分布上的表面改性；通过光学CCD(230)对飞秒激光改性过程进行观察和检测；3)氢氟酸溶液腐蚀：将步骤2)改性后的石英玻璃置于超声波环境的氢氟酸溶液中进行选择性腐蚀，形成硬质基板(260)上的多焦点凹面透镜结构；所述多焦点凹面透镜结构包括中心透镜和第一外环透镜；所述中心透镜的前端面为曲面，其后端面为平面；所述第一外环透镜的后端面为平面，其前端面包括设置在中心的第一平面以及设置在第一平面外的第一环曲面；所述第一平面与中心透镜的后端面重合；所述中心透镜前端面的焦距比第一环曲面的焦距短；4)用于三维成像的多焦点透镜复制：以硬质基板(260)上的多焦点凹面透镜结构为母版，通过热压工艺，翻模复制多焦点凸面透镜。
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