[发明专利]红外线反射薄膜的制造方法在审
| 申请号： | 201410042784.4 | 申请日： | 2014-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN103966559A | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 渡边圣彦;大森裕 | 申请（专利权）人： | 日东电工株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08;C23C14/14;G02B5/08 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及红外线反射薄膜的制造方法。所述红外线反射薄膜（100）在透明薄膜基材（10）上按顺序具备红外线反射层（20）和透明保护层（30），所述红外线反射层具有金属层（25）和金属氧化物层（21，22）。在本发明的制造方法中，金属氧化物层通过使用卷取式溅射装置的直流溅射法来制膜。在直流溅射法中使用的溅射靶含有锌原子和锡原子。溅射靶优选为将氧化锌和氧化锡中的至少一种金属氧化物与金属粉末烧结而得到的靶。 | ||
| 搜索关键词： | 红外线 反射 薄膜 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种红外线反射薄膜的制造方法，其中，所述红外线反射薄膜在透明薄膜基材上按顺序具备红外线反射层和透明保护层，所述红外线反射层具有金属层和金属氧化物层，所述金属氧化物层的制膜是通过使用卷取式溅射装置的直流溅射法进行的，在所述直流溅射法中使用的溅射靶含有锌原子和锡原子，所述溅射靶是将氧化锌和氧化锡中的至少一种金属氧化物与金属粉末烧结而得到的靶。
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