[发明专利]一种基于拉曼散射的应力作用下薄膜材料热导率的测量方法

摘要

本发明涉及一种基于拉曼散射的应力作用下薄膜材料热导率的测量方法。该方法的工作原理是：在柔性基底上附着悬空的薄膜材料，然后对薄膜材料施加沿面内方向的外力，通过控制外力大小，实现对薄膜材料的应力调制。利用薄膜材料拉曼光谱对于材料温度的快速响应特性，可以获得不同应力作用下薄膜材料的热导率。该方法可以测得不同应力作用下薄膜材料的热导率，可用来研究微尺度下材料热导率与所受应力的关系。

主权项

一种基于拉曼散射的应力作用下薄膜材料热导率的测量方法，其特征在于，利用柔性基底（5）对样品施加应力，利用拉曼散射测量薄膜材料的热导率，该方法具体包括：采用激光器（1）输出533纳米波长激光；激光器（1）输出的533纳米波长激光通过分光镜（2），将533纳米波长激光分为二束光，第一束光用于激发拉曼散射入射应力施加系统（4）中的样品（6）；第二束光用于信号采集，作为参照光入射反射镜（3）；其中，第二束光采用反射镜（3）以及分光镜（7）改变参照光光路方向；用于激发拉曼散射的第一束光照射到样品（6）后，经过分光镜（7）进入拉曼探测器（8）；由拉曼探测器（8）采集拉曼信号，采集时关闭光学图像采集器（9），其中光学图像采集器（9）所用光为自然光；由数据采集系统（10）分析处理采集得到的拉曼信号。