[发明专利]光学位置测量装置

摘要

本发明涉及一种光学位置测量装置，其用于产生关于纤维光学扫描头与为此在至少一个测量方向上移动的反射整体量具的相对位置的、多个相移的扫描信号。在纤维光学扫描头中扫描板布置在光导纤维的整体量具侧的端部的前面。这实现了相移的扫描信号的、取决于波长的编码。为此经过将射到扫描板上的射线束分开成至少两个子射线束，该子射线束作用到反射整体量具并且接着为了产生相移的扫描信号重新组合地互相发生干涉。子射线束在分开与重新组合之间经过了不同的光学路程长度。

主权项

一种光学位置测量装置，所述光学位置测量装置用于产生关于纤维光学扫描头与为此在至少一个测量方向上移动的反射整体量具的相对位置的、多个相移的扫描信号，其中在所述纤维光学扫描头中布置有在光导纤维的、整体量具侧的端部之前的扫描板并且实现了相移的扫描信号的、取决于波长的编码，其特征在于，所述扫描板(21；121；221；321)设计为，即‑射到所述扫描板(21；121；221；321)上的射线束被分开成至少两个子射线束，所述子射线束作用到所述反射整体量具(10；110；210；310)并且接着为了产生所述相移的扫描信号重新组合地互相发生干涉，以及‑在所述分开与重新组合之间的所述子射线束经过了不同的光学路程长度，所述扫描板(21；121)设计为板状的、透明的基板，其中‑在所述扫描板(21；121)的、朝向所述光导纤维(30；130)的侧面上布置有第一透射光栅(23；123)，射到所述第一透射光栅上的所述射线束分开成至少两个衍射的子射线束，所述子射线束关于扫描板法线不对称地继续传播，并且‑在所述扫描板(21；121)的、朝向所述反射整体量具(10；110)的侧面上布置有第二透射光栅(24；124)，所述第二透射光栅偏转从所述第一透射光栅(23；123)出发射到所述第二透射光栅的所述子射线束，以使得所述子射线束关于扫描板法线互相对称地在所述扫描板(21；121)与所述反射整体量具(10；110)之间传播并且在利特罗角下作用到所述反射整体量具(10；110)。