[发明专利]一种垂向位置测量装置有效
| 申请号： | 201410035494.7 | 申请日： | 2014-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN104808447B | 公开（公告）日： | 2017-06-06 |
| 发明（设计）人： | 王兴海;王海江 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01B11/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种垂向位置测量装置，其特征在于，沿光路方向依次包括照明光源，用于发射照明光束；第一光学组件，用于产生平行光照射到投影狭缝；投影狭缝；第二光学组件，用于将投影狭缝成像到被测对象表面；第三光学组件，用于接收被测对象表面反射的投影狭缝成像，并对成像进行光学调制；第四光学组件，用于将投影狭缝成像在探测狭缝位置；探测狭缝；光电传感器，用于接收探测狭缝所成的像；以及信号处理单元，用于接收光电传感器信号并计算垂向位置；其中，所述投影狭缝、探测狭缝与光电传感器的数量相等并且位置对应，每个光电传感器由N个单元组成，每个单元具有独立的光电信号接收和输出功能，每个单元在测量方向上的尺寸与每个投影狭缝的尺寸相等，每个光电传感器在测量方向上的尺寸与每个探测狭缝的尺寸相等。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 位置 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种垂向位置测量装置，其特征在于，沿光路方向依次包括：照明光源，用于发射照明光束；第一光学组件，用于产生平行光照射到投影狭缝；投影狭缝；第二光学组件，用于将投影狭缝成像到被测对象表面；第三光学组件，用于接收被测对象表面反射的投影狭缝成像，并对成像进行光学调制；第四光学组件，用于将投影狭缝成像在探测狭缝位置；探测狭缝；光电传感器，用于接收探测狭缝所成的像；以及信号处理单元，用于接收光电传感器信号并计算垂向位置；其中，所述投影狭缝、探测狭缝与光电传感器的数量相等并且位置对应，每个光电传感器由N个单元组成，每个单元具有独立的光电信号接收和输出功能，每个单元在测量方向上的尺寸与每个投影狭缝的尺寸相等，每个光电传感器在测量方向上的尺寸与每个探测狭缝的尺寸相等。
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