[发明专利]一种基于蓝宝石衬底生长石墨烯的方法在审
申请号: | 201410035269.3 | 申请日: | 2014-01-24 |
公开(公告)号: | CN104803709A | 公开(公告)日: | 2015-07-29 |
发明(设计)人: | 林朝晖;蒋伟 | 申请(专利权)人: | 泉州市博泰半导体科技有限公司 |
主分类号: | C04B41/50 | 分类号: | C04B41/50 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 362000 福建省泉州市鲤城区高*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于蓝宝石衬底生长石墨烯的方法,包括:提供蓝宝石衬底;分解碳基卤化物,利用所述蓝宝石衬底催化生长石墨烯。本发明克服现有大面积石墨烯生长技术中的不足,分解碳基卤化物,利用蓝宝石衬底催化生长石墨烯,无需金属作为催化剂,生长的石墨烯无需转移过程,便可以直接用于制造各种器件,提高了器件的电学特性,可靠性,降低了器件制造的复杂性。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 蓝宝石 衬底 生长 石墨 方法 | ||
【主权项】:
一种基于蓝宝石衬底生长石墨烯的方法,其特征在于,包括:提供蓝宝石衬底;分解碳基卤化物,利用所述蓝宝石衬底催化生长石墨烯。
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