[发明专利]一种LTCC剖面制样的制备方法

摘要

一种LTCC剖面制样的制备方法，由样品固定阶段、试样磨抛阶段和试样腐蚀阶段配合完成产品剖面制样。样品固定阶段将待制样产品放入模具并浇注准备好的固化剂进行固化；试样磨抛阶段将已固化的试样进行切割并对剖面研磨抛光得到初步剖面制样；试样腐蚀阶段是用配置好的腐蚀溶液涂抹抛光后的剖面表面进行腐蚀，然后清洗擦拭腐蚀后的剖面得到最终制样。本发明既解决了离子束切割法成本高周期长的问题又解决了磨抛法破坏剖面延展金属原貌的问题，降低了对剖面制样精度要求很高时的试验成本，同时复杂度并没有增加多少，提高了产品剖面清晰度并可暴露生产工艺缺陷，还原了产品工艺质量。本发明操作简捷，成本低，有很好的工程应用推广价值。

主权项

一种LTCC剖面制样的制备方法，其特征在于：该方法剖面处由磨抛引起的Au或Ag的延展残留用化学无应力的方法清除干净，该方法由样品固定阶段、试样磨抛阶段和试样腐蚀阶段配合完成，所述样品固定阶段实现步骤如下：步骤(1)准备待制样样品、模具、脱模剂、固化样品的树脂和固化剂、腐蚀液、玻璃棒、酒精棉球；步骤(2)将步骤(1)准备好的脱模剂涂抹于模具内表面；步骤(3)将步骤(1)准备好的LTCC样品放置在经过步骤(2)处理的模具内，根据磨抛的位置固定样品方向；步骤(4)将步骤(1)准备好的固化用树脂和固化剂按15：1至5：1的体积比例配置模具容积相匹配的容量，并搅拌均匀；步骤(5)将步骤(4)准备好的树脂固化剂混合液浇注到步骤(3)准备好的模具内，将LTCC样品和模具间空隙填充；步骤(6)将步骤(5)中浇注好的制样放在真空容器内抽真空，排除树脂内的气泡；步骤(7)将步骤(6)抽完真空的试样在15℃至30℃的室温下放置6至12小时，使树脂固化；步骤(8)将步骤(7)中已固化的试样从模具中取出准备磨抛；试样磨抛阶段实现步骤如下：步骤(9)将步骤(8)固化好的试样在切割机上在其剖面制样目标位置附近切断，并留一定的磨抛余量；步骤(10)将步骤(9)准备好的已切断的试样在磨抛机上用120标号的粗磨金刚砂纸加水粗磨至剖面制样目标位置附近；步骤(11)将步骤(10)中粗磨过的试样继续在磨抛机上分别用220、320、500、1000标号由小到大的多张金刚砂纸加水细磨，每号砂纸磨1分钟；步骤(12)将步骤(11)中经过细磨的试样放在抛光布上加适当抛光液，对制样剖面进行抛光，直至试样剖面无划痕，呈现镜面特征，至此试样磨抛阶段结束；试样腐蚀阶段实现步骤如下：步骤(13)将步骤(1)中准备的腐蚀液根据互联金属的成分配置成能够腐蚀互联金属的溶液；步骤(14)用玻璃棒蘸少许步骤(13)中配置好的腐蚀液导流至步骤(12)准备好的试样剖面表面，腐蚀液应覆盖剖面金属位置，腐蚀时间为2至3分钟，使剖面金属表面有腐蚀生成物；步骤(15)将步骤(14)腐蚀后的试样剖面表面用水清洗多次；步骤(16)将步骤(15)中清洗后的试样用酒精棉球按一定方向和力度擦拭制样剖面的腐蚀残留物，使其露出清晰的剖面表面，完成剖面制样的制作；步骤(16)所述的擦拭方向和力度将腐蚀产物擦除的同时又没破坏剖面表面金相结构；所述的LTCC样品内部互联金属化系统选用延展性好的金属Au或Ag。