[发明专利]可实现波长宽调谐的分布反射布拉格激光器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种可实现波长宽调谐的分布反射布拉格激光器及其制作方法。激光器包括管芯，管芯依次包括衬底、下波导层、有源区层、上波导层、光栅盖层、包层、电接触层，在垂直于各层的叠置方向的水平面的第一方向上延伸有一个脊波导，在该脊波导之外的区域不具有光栅盖层、包层和电接触层；管芯按照在第一方向上的位置分为依次紧邻的光栅区、相区和增益区；在光栅区的脊波导之外的区域，还不具有下波导层、有源区层和上波导层；在光栅区的上波导层的表层具有布拉格光栅。本发明能将波长调谐范围可增大至12nm，既降低了制作工艺的复杂性，同时还能保证产品的成品率和出光功率。

主权项

一种布拉格激光器，包括管芯，管芯为叠层结构，其特征在于，所述叠层结构依次包括衬底(4)、下波导层(5)、有源区层(6)、上波导层(7)、光栅盖层(81)、包层(82)、电接触层(83)，其中，在垂直于所述各层的叠置方向的水平面的第一方向上延伸有一个脊波导，在该脊波导之外的区域不具有所述光栅盖层(81)、包层(82)和电接触层(83)；所述管芯按照在所述第一方向上的位置分为依次紧邻的光栅区(1)、相区(2)和增益区(3)；在所述光栅区(1)，且在所述脊波导之外的区域，除了不具有所述光栅盖层(81)、包层(82)和电接触层(83)，还不具有下波导层(5)、有源区层(6)和上波导层(7)；在所述光栅区(1)的上波导层(7)的表层具有布拉格光栅(10)。