[发明专利]光学元件表面缺陷筛查装置和筛查方法有效
| 申请号： | 201410015005.1 | 申请日： | 2014-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN103760173A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 梁龙;李学春;姜有恩;林圆圆;陈醉雨 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01B11/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种光学元件表面缺陷筛查装置和筛查方法，该装置的构成包括：脉冲激光源、电动位移台、聚焦透镜、PIN管、数据采集卡、计算机和固定件，待测的光学元件通过所述的固定件固定在所述的电动位移台上，在所述的脉冲激光源照射在所述的光学元件上反射后，在该反射光束方向依次设置所述的聚焦透镜和PIN管，所述的PIN管位于所述的该聚焦透镜的像平面；所述的PIN管输出的信号经所述的数据采集卡采集送所述的计算机，所述的计算机的输出端接所述的电动位移台的控制端。本发明可以对光学元件表面缺陷的位置和基本尺寸等信息进行实时的记录，具有简易、实时、自动、可靠的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 表面 缺陷 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种光学元件表面缺陷筛查装置，特征在于其构成包括：脉冲激光源（1）、电动位移台（2）、聚焦透镜（3）、PIN管（4）、数据采集卡（5）、计算机（6）和固定件（7），待测的光学元件（8）通过所述的固定件（7）固定在所述的电动位移台（2）上，在所述的脉冲激光源（1）照射在所述的光学元件（8）上反射后，在该反射光束方向依次设置所述的聚焦透镜（3）和PIN管（4），所述的PIN管（4）位于所述的该聚焦透镜（3）的像平面；所述的PIN管（4）输出的信号经所述的数据采集卡（5）采集送所述的计算机（6），所述的计算机（6）的输出端接所述的电动位移台（2）的控制端。
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