[发明专利]光学感测芯片

摘要

本发明公开一种可重复使用且应用广泛的光学感测芯片。本发明的光学感测芯片不但可定性辨别不同种类分子，还可以进行定量分析感测微量小分子。传统光学式感测芯片，往往需要额外加入已知浓度的样品，再通过信号比对来定量量测；但本发明中不需额外加入已知浓度的参考样品，而是利用感测芯片本身具有可提供不随感测环境变化的固定光学信号作为定量化依据。此外尚具有能即时处理样本特定电性分子的筛选浓缩或过滤功能。

主权项

一种光学感测芯片，包括：基底，具有一绝缘层；至少一绝缘氧化物层，覆盖于该基底上以提供一固定拉曼信号；电极图案，位于该基底上以及该至少一绝缘氧化物层下方，其中该电极图案直接位于该绝缘层上，且该至少一绝缘氧化物层共形覆盖该电极图案的上表面和侧表面；隔离层，覆盖于该基底与该至少一绝缘氧化物层上，其中该隔离层具有至少一开口；以及立体纳米结构阵列，位于该至少一绝缘氧化物层上以及位于该基底上方，其中该电极图案的位置对应该立体纳米结构阵列的位置，而该开口暴露出该立体纳米结构阵列，其中该立体纳米结构阵列包括排列成行列的多个立体纳米结构，而任一立体纳米结构至少包括一立体聚合物结构与共形覆盖于该立体聚合物结构上的一金属层，其中该多个立体纳米结构作为表面电浆共振结构，而该电极图案作为静电操控电极。