[发明专利]多晶硅铸锭炉的控制方法及其控制系统无效
申请号: | 201410012110.X | 申请日: | 2014-01-10 |
公开(公告)号: | CN103757694A | 公开(公告)日: | 2014-04-30 |
发明(设计)人: | 朱海波 | 申请(专利权)人: | 阿特斯(中国)投资有限公司;阿特斯光伏电力(洛阳)有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人: | 秦蕾 |
地址: | 215300 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种多晶硅铸锭炉的控制系统及其控制方法,所述控制系统包括用以测量多晶硅铸锭炉温度的热电偶、用以调用运行配方的工控机、用以调整多晶硅铸锭炉温度的加热器、以及与所述热电偶并联的短路开关。本发明的有益效果是:当所述热电偶断路时,闭合所述短路开关,即使热电偶断路时也能够采取措施恢复多晶硅铸锭炉的运行,从而提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 控制 方法 及其 控制系统 | ||
【主权项】:
一种多晶硅铸锭炉的控制方法,其包括如下步骤:(a)按照预先设定的运行配方运行控制系统,启动多晶硅铸锭炉;(b)检测用以测量所述多晶硅铸锭炉内的温度的热电偶是否断路,如果未断路,则执行步骤(c);如果断路,则执行步骤(d);(c)通过所述热电偶所测量的温度,反馈调节所述多晶硅铸锭炉的加热器的加热功率以实现温度控制;其特征在于:所述步骤(d)包括如下子步骤:(d1)将与所述热电偶并联的短路开关闭合,给所述控制系统一个短路信号;(d2)所述控制系统在得到该短路信号后,调用所述运行配方,查找到所述热电偶断路时所对应的步骤,并接着该步骤按照所述运行配方继续运行;(d3)以功率控制的模式进行温度控制。
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