[发明专利]多晶硅铸锭炉的控制方法及其控制系统

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉的控制方法，其包括如下步骤：

（a）按照预先设定的运行配方运行控制系统，启动多晶硅铸锭炉；

（b）检测用以测量所述多晶硅铸锭炉内的温度的热电偶是否断路，如果未断路，则执行步骤（c）；如果断路，则执行步骤（d）；

（c）通过所述热电偶所测量的温度，反馈调节所述多晶硅铸锭炉的加热器的加热功率以实现温度控制；

其特征在于：所述步骤（d）包括如下子步骤：

（d1）将与所述热电偶并联的短路开关闭合，给所述控制系统一个短路信号；

（d2）所述控制系统在得到该短路信号后，调用所述运行配方，查找到所述热电偶断路时所对应的步骤，并接着该步骤按照所述运行配方继续运行；

（d3）以功率控制的模式进行温度控制。

2.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉的控制方法，其特征在于：在子步骤（d1）中，人为地将所述短路开关闭合或者所述控制系统自动闭合所述短路开关。

3.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉的控制方法，其特征在于：在子步骤（d2）中，通过工控机人为地调用所述运行配方或者所述控制系统自动调用所述运行配方。

4.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉的控制方法，其特征在于：所述运行配方指的是每一步所对应的运行时间以及相应功率值。

5.如权利要求4所述的多晶硅铸锭炉的控制方法，其特征在于：每一步所对应的运行时间是相同的。

6.如权利要求5所述的多晶硅铸锭炉的控制方法，其特征在于：每一步所对应的运行时间均为一分钟。

7.如权利要求4所述的多晶硅铸锭炉的控制方法，其特征在于：在子步骤（d2）中，所述热电偶断路时所对应的步骤根据所述控制系统已经运行的时间获得。

8.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉的控制方法，其特征在于：在子步骤（d2）中，当所述热电偶断路后，所述多晶硅铸锭炉停止运行；在子步骤（d3）之后，所述多晶硅铸锭炉从新运行。

9.一种多晶硅铸锭炉的控制系统，其包括用以测量多晶硅铸锭炉温度的热电偶、用以调用运行配方的工控机、以及用以调整多晶硅铸锭炉温度的加热器，其特征在于：所述控制系统还包括与所述热电偶并联的短路开关。

10.如权利要求9所述的多晶硅铸锭炉的控制系统，其特征在于：所述控制系统按照权利要求1至8中任意一项所述的控制方法进行工作。