[发明专利]一种光刻机机械式快门叶片结构有效
| 申请号： | 201410011585.7 | 申请日： | 2014-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN104777716B | 公开（公告）日： | 2017-08-29 |
| 发明（设计）人： | 王洪尊;高沛;陈宇环 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出一种光刻机机械式快门叶片结构，其特征在于包括快门基板，中间受热区域叶片和弹性固定元件；所述快门基板采用低密度高强度金属，所述中间受热区域叶片采用耐高温非金属，所述快门基板和中间受热区域叶片通过弹性固定元件固定连接。本发明去除镀层需求，采用金属及耐高温非金属组合形式，光照能量集中区域采用耐高温非金属，非光照集中区域采用低密度高强度金属，并且运用柔性固定方式消除因材料热膨胀系数不一而产生的形变影响，可以承受800℃高温，且制造工艺简单，组合形式多样，易于工程实现。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 机械式 快门 叶片 结构 | ||
【主权项】：
一种光刻机机械式快门叶片结构，其特征在于：包括快门基板，中间受热区域叶片和弹性固定元件；所述快门基板采用铝合金、钛合金或者铝镁合金，所述中间受热区域叶片采用氧化铝陶瓷、氮化硼陶瓷或者微晶云母陶瓷，所述快门基板和中间受热区域叶片通过弹性固定元件固定连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410011585.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
