[发明专利]振动片、振子以及振荡器

摘要

本发明提供一种能够提高Q值的振动片、具备该振动片的振子以及振荡器。水晶振动片(1)具备：基部(11)；从基部起延伸的一对振动臂(12、13)，振动臂(12、13)的机械性的共振频率f大于热弛张频率f0，振动臂(12、13)具有沿着振动臂(12、13)的长度方向而形成在相互对置的主面(10a、10b)上的槽部(18)，槽部(18)具有：底部(18c)；第1侧面部(18a)，其沿着振动臂(12、13)的长度方向形成，并与主面(10a、10b)和底部(18c)相接；第2侧面部(18b)，其隔着底部(18c)而与第1侧面部(18a)对置，并与主面(10a、10b)和底部(18c)相接，槽部(18)具有无电极区域，所述无电极区域为，在从第1侧面部(18a)的底部(18c)侧的一部分起，包括底部(18c)在内直至第2侧面部(18b)的底部(18c)侧的一部分为止的范围内，未设置激励电极(20、21)的区域。

主权项

一种振动片，其特征在于，具有：基部；一对振动臂，其在俯视观察时从所述基部起沿着第一方向延伸，并在相互具有表里关系的两个主面中的至少一个主面上，沿着所述第一方向而设置有槽部，设置有所述槽部的所述主面具有一个主面部和另一个主面部，所述一个主面部和所述另一个主面部在俯视观察时于彼此之间夹着所述槽部的开口，并且沿着与所述第一方向交叉的第二方向而并排，所述槽部具有：第1侧面，其与所述一个主面部相接，并在所述第1侧面上配置有第1激励电极部；第2侧面，其与所述另一个主面部相接，并在所述第2侧面上配置有第2激励电极部，内面，其在所述第1激励电极部和所述第2激励电极部之间未设置有电极。