[发明专利]钇系高温超导薄膜的制备方法

摘要

钇系高温超导薄膜的制备方法，采用钇系超导薄膜用前驱溶液制备凝胶薄膜，然后干燥得到凝胶干膜后热分解，冷却至室温后通入干氮气，温度升至600～650℃时将气氛切换成H₂O/H₂O₂/N₂或H₂O/H₂O₂/Ar混合气氛后升温至740～790℃保温，然后将气氛切换成干氮气保温后冷却，当温度降至400～500℃后将气氛切换成干氧气并保温，最后冷却至室温后将气氛关闭，即得到钇系高温超导薄膜。本发明制备方法在740～790℃保温过程中采用H₂O/H₂O₂/N₂或H₂O/H₂O₂/Ar混合气氛，降低了工业成本；同时H₂O₂在高温下分解后产生活性氧，使得薄膜具有良好的超导效应，且制备过程简单，工艺稳定。

主权项

钇系高温超导薄膜的制备方法，其特征在于，具体按照以下步骤实施：步骤1，采用钇系超导薄膜用前驱溶液制备凝胶薄膜，然后将凝胶薄膜干燥，得到凝胶干膜；步骤2，将步骤1得到的凝胶干膜转入石英管式炉中进行热分解；步骤3，对经过步骤2处理的凝胶干膜通入干氮气，温度升至600～650℃时将气氛切换成H₂O/H₂O₂/N₂混合气氛或H₂O/H₂O₂/Ar混合气氛后升温至740～790℃保温，然后将气氛切换成干氮气保温后冷却，当温度降至400～500℃后将气氛切换成干氧气并保温，最后冷却至室温后将气氛关闭，即得到钇系高温超导薄膜。