[发明专利]一种基于驻极体的静电式转速传感器

摘要

本发明公开了属于转速传感器技术领域的一种基于驻极体的静电式转速传感器。所述的静电式转速传感器，由衬底、电极和驻极体层依次层叠组成，衬底上制作电极，电极被驻极体材料所覆盖；电极之间绝缘。本发明的基于驻极体的静电式转速传感器不要求被测物体为铁磁器件，具有测试材料广泛，不要求铁磁性材料，任何导电材料皆可，微加工工艺兼容性好、结构简单、成本低等诸多优点。

主权项

一种基于驻极体的静电式转速传感器，其特征在于，由衬底、电极和驻极体层依次层叠组成，衬底上制作电极，电极被驻极体材料所覆盖；电极之间绝缘；所述驻极体提供静电场；所述电极的作用是敏感驻极体附近的电场变化，并将这种变化转换成信号输出；所述衬底作为额外的机械结构支撑；衬底的采用不影响所述静电式转速传感器的电特性，而电极和衬底的相对位置并无约束，只要电极处于驻极体所产生的电场之中并可以敏感由被测物体造成的电场强度的变化即可；被测物体需要具有一个识别结构，静电式转速传感器的驻极体被驻极之后，在电极上会产生感应电荷，当被测物体旋转的时候，识别结构会周期性的靠近和远离驻极体表面，进而使得电极上的感应电荷数量产生变化，这种由被测物体旋转产生的电荷涨落会产生相应的电压信号，通过这一电压信号可以测量出被测物体的转动。