[发明专利]具有简化制造的光学成像布置有效
| 申请号： | 201380079975.1 | 申请日： | 2013-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN105593761B | 公开（公告）日： | 2018-03-20 |
| 发明（设计）人： | J.库格勒;S.泽尔特;J.普罗克诺 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B7/182 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 陈金林 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种在尤其用于微光刻的光学成像设备中使用的光学成像设备模块(117.1)，包含光学元件支撑子结构(118.1)和辅助支撑子结构(119.1)。光学元件支撑子结构配置为支撑光学元件(106.2)，并且具有第一暂时支撑接口布置。光学元件配置为形成光学成像设备的光学元件组的部分，所述光学成像设备配置为在使用曝光光的曝光过程中将掩模图案的像转印至基板上。辅助支撑子结构(119.1)配置为支撑辅助部件(115)，并且具有第二暂时支撑接口布置，辅助部件配置为在曝光过程期间执行曝光过程除了将图案的像转印至基板上的辅助功能。辅助部件(115)配置为在曝光过程期间与光学元件空间上关联，并且由辅助支撑结构支撑，所述辅助支撑结构包含与光学元件支撑子结构(118.1)机械分离的方式的辅助支撑子结构(119.1)。第一暂时支撑接口布置和第二暂时支撑接口布置配置为可释放地与至少一个暂时连接装置(121)合作，至少一个暂时连接装置配置为在光学成像设备的装配期间经由光学元件支撑子结构(118.1)暂时支撑辅助支撑子结构(119.1)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 简化 制造 光学 成像 布置 | ||
【主权项】：
一种在光学成像设备中使用的光学成像设备模块，包含：光学元件支撑子结构，以及辅助支撑子结构；所述光学元件支撑子结构配置为支撑光学元件且具有第一暂时支撑接口布置；所述光学元件配置为形成所述光学成像设备的光学元件组的一部分，所述光学成像设备配置为在使用曝光光的曝光过程中将掩模图案的像转印至基板上；所述辅助支撑子结构配置为支撑辅助部件且具有第二暂时支撑接口布置；所述辅助部件配置为在所述曝光过程期间执行所述曝光过程除将所述图案的所述像转印至所述基板外的辅助功能；所述辅助部件配置为在所述曝光过程期间在空间上与所述光学元件关联，并且以与所述光学元件支撑子结构机械分离的方式由包含所述辅助支撑子结构的辅助支撑结构支撑；至少在所述光学成像设备装配期间，所述第一暂时支撑接口布置和所述第二暂时支撑接口布置配置为可释放地与至少一个暂时连接装置协作，至少一个暂时连接装置配置为经由所述光学元件支撑子结构暂时支撑所述辅助支撑子结构。
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