[发明专利]图像取得装置以及图像取得装置的聚焦方法

摘要

图像取得装置(M)中，通过在第2光路(L2)上配置光程差生成构件(21)从而在第2摄像装置(20)中抑制了对焦点对准了入射到第1摄像装置(18)的光学图像之前的光学图像(前针)和焦点对准了入射到第1摄像装置(18)的光学图像之后的光学图像(后针)进行摄像的时候的光量，并且能够确保由第1摄像装置(18)进行摄像的时候的光量。另外，图像取得装置(M)中，根据工作台的扫描速度(v)、第1摄像区域(22A)与第2摄像区域(22B)之间的间隔(d)，设定从第1摄像区域(22A)上的摄像到第2摄像区域(22B)上的摄像为止的等待时间(W)。因此，由于来自试样(S)的相同位置的光入射到第1摄像区域(22A)和第2摄像区域(22B)，所以能够高精度地实施焦点位置的控制。

主权项

一种图像取得装置，其特征在于：具备：工作台，载置试样；工作台控制单元，以规定的速度扫描所述工作台；光源，朝着所述试样照射光；导光光学系统，包含将所述试样的光学图像向图像取得用的第1光路以及焦点控制用的第2光路分支的光分支单元；第1摄像单元，取得由向所述第1光路分支的第1光学图像形成的第1图像；第2摄像单元，取得由向所述第2光路分支的第2光学图像形成的第2图像；焦点控制单元，解析所述第2图像，并根据该解析结果控制由所述第1摄像单元进行的摄像的焦点位置；区域控制单元，在所述第2摄像单元的摄像面上设定取得所述第2光学图像的一部分图像的第1摄像区域以及第2摄像区域；以及光程差生成构件，被配置于所述第2光路，沿着所述摄像面的面内方向使光程差产生于所述第2光学图像，所述区域控制单元根据所述工作台的扫描速度和所述第1摄像区域与所述第2摄像区域之间的间隔，设定从所述第1摄像区域上的摄像到所述第2摄像区域上的摄像为止的等待时间，所述第2摄像单元为区域传感器，所述光程差生成构件是以重叠于所述摄像面的至少一部分的方式配置的平板构件，所述区域控制单元以避开由所述平板构件的边缘部分形成的所述第2光学图像的影子的方式将所述第1摄像区域和所述第2摄像区域分别设定于重叠于所述平板构件的区域和不重叠于所述平板构件的区域。