[发明专利]在后续处理期间实现精确配准的多种油墨的印刷

摘要

本发明提供一种通过同时将多种油墨沉积到印刷辊上来实现在辊对辊工艺中的精确配准的方法。这些油墨中的一种将基准标记的图案印刷到基底上，而另一种油墨将预定图案印刷在相同基底上，使得预定图案将可预测空间关系给予基准标记的图案。因此，即使形成预定图案的油墨不可见，或者其与基底的对比度如此之低以致于其几乎不可见，或者甚至在后续工序中已被溶解掉，但通过参考基准标记的图案仍然可以知道预定图案在哪里。

主权项

一种提供具有预定图案的基底的方法，包括：提供印刷辊、第一油墨分配器和第二油墨分配器；所述第一油墨分配器和所述第二油墨分配器被定位成分别在隔开的第一区和第二区中将第一油墨和第二油墨分配到所述印刷辊上；使用所述第一油墨分配器将可溶于所选择的溶剂的所述第一油墨分配到所述第一区中，并且使用所述第二油墨分配器将不可溶于所述所选择的溶剂的所述第二油墨分配到所述第二区中；抵靠所述印刷辊推进所述基底，从而使用所述第二油墨将基准标记印刷到所述基底上，同时使用所述第一油墨将所述预定图案印刷到所述基底上，其中所述预定图案包括特征部，所述特征部具有大小小于20微米的尺寸；在所述预定图案之上将导电材料层溅射到所述基底上；以及使用所述所选择的溶剂冲洗所述基底，从而移除所述第一油墨和所述预定图案，同时在所述基底上保留所述基准标记。