[发明专利]用于金属电极的表面改性剂、经表面改性的金属电极及经表面改性的金属电极的生产方法在审

专利信息
申请号: 201380061333.9 申请日: 2013-11-18
公开(公告)号: CN104823266A 公开(公告)日: 2015-08-05
发明(设计)人: 伊藤雄佑;清森步 申请(专利权)人: 信越化学工业株式会社
主分类号: H01L21/28 分类号: H01L21/28;H01B5/14;H01B13/00;H01L51/42;H01L51/50;H05B33/10;H05B33/28
代理公司: 北京市隆安律师事务所 11323 代理人: 权鲜枝
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供了一种用于金属电极的表面改性剂,包含由通式(1)代表的活性甲硅烷基化合物:Rf-X-A-SiR13-n(OR2)n(1)其中,Rf是可以具有有1至5个碳原子的烷基取代基的具有6至10个碳原子的芳香基基团,或者具有1到10个碳原子的烷基基团,其中用氟原子取代至少一个氢原子,X代表从-O-、-NH-、-C(=O)O-、-C(=O)NH-、-OC(=O)NH-、和-NHC(=O)NH-选择的二价基团,或单键,A代表具有1至10个碳原子的直链、支链或环式脂肪族二价烃基团、具有6到10个碳原子的芳香族二价烃基团或单键,R1是具有1至3个碳原子的单价烃基团,R2代表具有1至3个碳原子的单价烃基团、乙酰基、丙酰基或者氢原子,以及n是1至3的整数,提供了一种由所述表面改性剂经表面改性的金属电极,以及一种用于生产经表面改性的金属电极的方法。
搜索关键词: 用于 金属电极 表面 改性 生产 方法
【主权项】:
一种用于金属电极的表面改性剂,包含由通式(1)代表的活性甲硅烷基化合物:Rf‑X‑A‑SiR13‑n(OR2)n   (1)其中Rf是可以具有有1至5个碳原子的烷基取代基的具有6至10个碳原子的芳香基基团,或者是具有1到10个碳原子的烷基基团,其中用氟原子取代至少一个氢原子,X代表从‑O‑、‑NH‑、‑C(=O)O‑、‑C(=O)NH‑、‑OC(=O)NH‑、和‑NHC(=O)NH‑选择的二价基团,或单键,A代表具有1至10个碳原子的直链、支链或环式脂肪族二价烃基团、具有6到10个碳原子的芳香族二价烃基团或单键,R1是具有1至3个碳原子的单价烃基团,R2代表具有1至3个碳原子的单价烃基团、乙酰基、丙酰基或者氢原子,以及n是1至3的整数。
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