[发明专利]HDD用玻璃基板及其制造方法以及信息记录介质的制造方法有效
| 申请号： | 201380060277.7 | 申请日： | 2013-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN104798132B | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 岛津典子 | 申请（专利权）人： | HOYA株式会社 |
| 主分类号： | G11B5/84 | 分类号： | G11B5/84 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明的HDD用玻璃基板的制造方法是用于制造记录密度为630Gb/平方英寸以上的HDD用玻璃基板的制造方法，包括：精密研磨工序，使用含有胶体二氧化硅且pH为4以下的研磨液将玻璃基板研磨到其表面粗糙度Ra成为 |
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| 搜索关键词： | hdd 玻璃 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种HDD用玻璃基板的制造方法，其特征在于包括：精密研磨工序，使用含有胶体二氧化硅的研磨液对玻璃基板进行研磨，直到由AFM测量的表面粗糙度Ra成为![]()
以下为止，其中由AFM测量的范围是各边1μm的正方形；超声波清洗工序，利用超声波对所述精密研磨工序后的玻璃基板进行清洗；浸渍工序，将所述超声波清洗工序后的玻璃基板浸渍于含有分散剂的溶液中；以及擦洗工序，对所述浸渍工序后的玻璃基板进行擦洗，对所制造的所述HDD用玻璃基板由AFM测量主表面的表面粗糙度Ra，此后进行将该HDD用玻璃基板浸渍于温度为40℃且pH值为11的NaOH溶液中30分钟的碱处理，再次由AFM测量主表面的表面粗糙度Ra，碱处理前后的主表面的所述表面粗糙度Ra的变化量的值为![]()
以下。
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