[发明专利]具有提供额外稳定状态的突起的机电系统装置

摘要

本发明提供用于机电系统EMS装置的系统、方法和设备，其中一或多个突起连接到所述EMS装置的表面。在一个方面中，所述EMS装置包含：衬底；静止电极，其在所述衬底上方；和可移动电极，其在所述静止电极上方。所述可移动电极经配置以通过所述可移动电极与所述静止电极之间的静电致动而移动到横越间隙的三个或三个以上位置。当所述突起在横越所述间隙的所述位置中的一者处接触所述EMS装置的任何表面时，所述突起改变所述EMS装置的硬度。接触所述一或多个突起的所述表面中的至少一者为非刚性。在一些实施方案中，所述突起具有大于约20nm的高度。

主权项

一种机电系统EMS装置，其包括：衬底；静止电极，其在所述衬底上方；可移动电极，其在所述静止电极上方，且经配置以通过所述可移动电极与所述静止电极之间的静电致动而移动到横越间隙的三个或三个以上位置；以及突起，其连接到所述EMS装置的表面，其中所述突起经配置以在横越所述间隙的所述位置中的一者处接触所述EMS装置的另一表面时改变所述EMS装置的硬度，且其中接触所述突起的所述表面中的至少一者为非刚性。