[发明专利]转印装置以及基板处理装置有效
| 申请号： | 201380040811.8 | 申请日： | 2013-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN104507685B | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 铃木智也 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | B41F17/10 | 分类号： | B41F17/10;B41F17/14;B41M1/26;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 李洋,杨林森 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种转印装置。转印装置具备版保持部，其对转印版进行保持，该转印版具有由规定厚度的多孔质材料形成的多孔质板、以及形成于该多孔质板的一方的面侧的转印用的图案层；对象物保持部，其对能够供上述转印版的图案层转附的对象物以使得该对象物与转印版的一方的面密接或接近的方式进行保持；以及流体供给部，其从多孔质板的另一方的面侧向一方的面侧供给规定压力的流体。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 以及 处理 | ||
【主权项】：
一种转印装置，其特征在于，具备：版保持部，其对转印版进行保持，该转印版具有由规定厚度的多孔质材料形成的多孔质板、以及在该多孔质板的一方的面侧形成的转印用的图案层；对象物保持部，其对能够供所述转印版的所述图案层转附的对象物以使该对象物与所述转印版的所述多孔质板的所述一方的面侧密接或接近的方式进行保持；以及流体供给部，其从所述多孔质板的另一方的面侧向所述一方的面侧以规定压力供给流体，以便利用能够从所述多孔质板的所述一方的面侧喷出的所述流体使所述图案层剥离并转印于所述对象物。
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