[发明专利]机械地流体化的硅沉积系统和方法

摘要

机械地流体化的系统和工艺允许高效、成本有效的硅生产。可以向受热盘或者锅提供粒子，该受热盘或者锅被振荡或者振动以提供反应表面。粒子在盘或者锅中向下迁移，并且在反应物产品达到希望的状态时，反应物产品在盘或者锅中向上迁移。可以回收废气。

主权项

一种机械地流体化的反应器，包括：其中具有室的壳；在所述壳的所述室中接收的用于在其中移动的锅，所述锅具有下表面、上表面、周界和至少部分绕着所述锅的所述周界相对于所述上表面向上延伸的周界壁；包括至少一个振动传输构件的传输装置，所述至少一个振动传输构件被耦合为振动所述锅以机械地使所述锅的所述上表面承载的微粒床流体化；具有通道的至少一个套管，所述至少一个振动传输构件穿过所述通道，并且所述通道约束所述至少一个振动传输构件为沿着单个轴的振荡轴向移动；以及加热器，热传导地耦合为向所述锅的所述上表面提供热以向所述微粒床传导地传送热能；柔性膜，将所述室划分成被暴露于所述锅的所述上表面的上部分和被暴露于所述锅的所述下表面的下部分；惰性气体入口，活动地耦合到所述室的所述下部分以向所述室的所述下部分中接收惰性气体；微粒入口，活动地耦合到所述室的所述上部分以在所述锅的上表面上接收和沉积一定深度的微粒以在其上形成所述微粒床；以及气体入口，活动地耦合到所述室的所述上部分以向所述室的所述上部分中接收至少包括第一化学物种的气体。