[发明专利]用于检测三维结构的缺陷的光学方法和系统有效
| 申请号： | 201380035738.5 | 申请日： | 2013-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN104704345B | 公开（公告）日： | 2017-07-04 |
| 发明（设计）人： | 吉拉德·巴拉克;埃拉德·多坦;阿隆·贝莱利 | 申请（专利权）人： | 诺威量测设备股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/00 | 分类号： | G01N21/00;G01N22/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 余刚,吴孟秋 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提出了用于检查含通孔结构的方法和系统。根据该技术，处理指示被测量的结构的含通孔区域的频谱响应的测量数据，并且在识别相对于所述含通孔区域的频谱特征的频谱响应的至少一个参数的变化时，生成指示所述通孔的内表面上的可能缺陷的输出数据。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 三维 结构 缺陷 光学 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种用于检查含通孔结构的方法，所述方法包括：接收指示被测量的结构的含通孔区域的频谱响应的测量数据；处理和分析频谱响应数据，并且在识别到所述频谱响应的至少一个参数相对于所述含通孔区域的频谱特征的变化时，生成指示通孔的内表面上的可能缺陷的输出数据，其中，所述频谱响应的所述至少一个参数的变化的特征是测量的光强度的频率振荡的干扰。
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