[发明专利]可变间距四点探针装置及方法有效
| 申请号： | 201380031788.6 | 申请日： | 2013-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN104508502B | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | 沃尔特·H·约翰逊;建瓯·石;董兰生;彭海鲸;刘相华;金凯文（家洲）;张卓贤;朱南昌 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种连续可变间距探针装置，其包含第一探针及第二探针。所述第一探针及所述第二探针经配置以测量导电层的性质。在第一配置中，所述第一探针及所述第二探针包含经布置以接触所述导电层以测量所述性质的相应第一部分。在第二配置中，所述第一探针及所述第二探针包含经布置以接触所述导电层以测量所述性质的相应第二部分。每一相应第一部分的第一区域不同于每一相应第二部分的第二区域。 | ||
| 搜索关键词： | 可变 间距 四点 探针 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种连续可变间距探针装置，其包括：第一探针；以及，第二探针，其中：所述第一探针及所述第二探针经配置以测量导电层的性质；在装置的第一配置中，所述第一探针及所述第二探针包含经布置以接触所述导电层以测量所述性质的相应第一部分；在装置的第二配置中，所述第一探针及所述第二探针包含经布置以接触所述导电层以测量所述性质的相应第二部分；且，每一相应第一部分的第一区域的尺寸不同于每一相应第二部分的第二区域的尺寸。
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