[发明专利]用于将材料沉积于基板上的材料沉积系统和方法有效
| 申请号： | 201380031437.5 | 申请日： | 2013-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN104395085B | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 肯尼斯·C.·克劳奇;罗伯特·W.·特蕾西;托马斯·J.·卡林斯基;斯科特·A.·里德 | 申请（专利权）人： | 伊利诺斯工具制品有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/04 | 分类号： | B41J2/04;B41J2/045;B05C5/02;B05C11/10;H05K3/00;B05B15/02 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 脱颖 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 用于将材料沉积于电子基板(12)上的材料沉积系统(10，30)，包括：框架(20，32)；支撑件(22)，其联接至所述框架并且构造为在沉积操作期间支撑电子基板(12)；构台(24，38)，其联接至所述框架(20，33)；以及沉积头，其联接至所述构台(24，38)。所述沉积头(14，36)借助构台(24，38)的移动能够在所述支撑件(22)上方移动。所述沉积头(14，36)包括：室(1110)，其构造为储存材料；致动器(1130)，其构造为将一定体积的材料推出所述室(1110)；针(120)，其从所述室(1110)延伸出并且终止于针孔口(130)；以及至少两个空气喷嘴(140，150)，它们位于所述针孔口(130)的相对的两侧。响应于所述致动器(1130)，期望体积的材料形成在所述针孔口(130)处，并且所述至少两个空气喷嘴(140，150)中的每个均产生时控空气脉冲，以从所述期望体积产生微滴并且将所述微滴加速到高速率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 材料 沉积 基板上 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于将材料沉积于电子基板上的材料沉积系统，所述材料沉积系统包括：框架；支撑件，该支撑件联接至所述框架，所述支撑件配置为在沉积操作期间支撑电子基板；构台，该构台联接至所述框架；以及沉积头，该沉积头联接至所述构台，并且借助所述构台的移动，所述沉积头能够在所述支撑件上方移动，所述沉积头包括：室，该室配置为储存材料，致动器，该致动器配置为将一定体积的材料推出所述室，针，该针从所述室延伸出并且终止于针孔口，以及至少两个空气喷嘴，它们位于所述针孔口的相对的两侧，其中，响应于所述致动器，期望体积的材料形成在所述针孔口处，并且其中，所述至少两个空气喷嘴中的每个空气喷嘴均产生时控空气脉冲以从所述期望体积的材料产生微滴、将所述微滴加速到高速率以及清洁所述孔口。
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