[发明专利]用于光电薄层太阳能电池的多层背电极及其用于制造薄层太阳能电池和模块的应用、包含多层背电极的光电薄层太阳能电池和模块及其制造方法

摘要

用于光电薄层太阳能电池的多层背电极按如下顺序包括至少一个块体背电极层（4），至少一个尤其欧姆的接触层（8a，8b），通过借助物理和/或化学气相沉积在使用至少一种金属硫族化物源的情况下涂敷至少一个层而获得，所述层包含至少一种金属硫族化物或基本上由至少一种金属硫族化物形成，其中金属选自钼、钨、钽、钴和/或铌并且硫族元素选自硒和/或硫，或通过涂敷至少一个金属层（第一层，10）和金属硫族化物层（第二层，12）而获得，其中第一层和块体背电极层在其一种或多种金属的成分上在这些金属中的一种或所有金属方面并不一致（Mo、W、Ta、Nb和/或Co），将该多层背电极用于制造薄层太阳能电池和薄层太阳能模块，包含该多层背电极的光电薄层太阳能电池和模块以及用于制造光电薄层太阳能电池和模块的方法。

主权项

用于光电薄层太阳能电池的多层背电极，按如下顺序包括：至少一个块体背电极层，至少一个尤其是欧姆的接触层，‑ 通过借助物理和/或化学气相沉积在使用至少一种金属硫族化物源的情况下涂敷至少一个层而获得，所述层包含至少一种金属硫族化物或基本上由至少一种金属硫族化物形成，其中所述金属硫族化物的金属尤其是选自钼、钨、钽、钴和/或铌，并且所述金属硫族化物的硫族元素尤其是选自硒和/或硫，或‑ 通过在构造金属硫族化物层（第二层）的情况下借助物理气相沉积在使用至少一种金属源和在硫族元素气氛、尤其是硒气氛和/或硫气氛中和/或在氢化硫族元素气氛、尤其是H₂S气氛和/或H₂Se气氛中在高于300℃、优选地高于350℃的温度下处理至少一个金属层（第一层）的情况下涂敷所述金属层而获得，其中所述第一层和所述块体背电极层在其成分上、尤其在分别所使用的金属方面或只要多种金属存在于所述金属层和所述块体背电极层中就在这些金属中的至少一种、尤其所有金属方面并不一致，所述金属包含Mo、W、Ta、Nb、Zr和/或Co或基本上由Mo、W、Ta、Zr、Nb和/或Co构成。