[发明专利]具有涂层的结构化表面在审

专利信息
申请号: 201380023432.8 申请日: 2013-04-25
公开(公告)号: CN104272484A 公开(公告)日: 2015-01-07
发明(设计)人: G.阿马拉藤加;Y.乔伊;S.希弗雷迪;N.布朗;C.科利斯 申请(专利权)人: 戴森技术有限公司
主分类号: H01L49/02 分类号: H01L49/02;H01G4/012;H01G4/10;H01G4/12
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 陈钘
地址: 英国威*** 国省代码: 英国;GB
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摘要: 发明公开的是涂覆结构化表面的方法,包括以下步骤:提供第一涂层材料的纳米颗粒、和将所述纳米颗粒通过使用电泳沉积二沉积在结构化表面上。结构化表面可包括一个或多个碳纳米管,该碳纳米管可以是阵列。涂层材料可以是介电材料,比如钛酸钡,其可具有直径为约20nm的颗粒尺寸。在沉积步骤后,可提供第二涂层。第二涂层可以是氧化铪。还公开了一种电容器,其包括具有结构化材料的第一电极、具有导电材料的第二电极和形成在所述第一和第二电极之间的介电层。
搜索关键词: 具有 涂层 结构 表面
【主权项】:
一种涂覆结构化表面的方法,包括以下步骤:(a)提供第一涂层材料的纳米颗粒;(b)将所述纳米颗粒通过使用电泳沉积而沉积在结构化表面上;和(c)将第二涂层沉积在所述第一涂层材料上。
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