[发明专利]带有用于工件的过程腔的设备

摘要

本发明涉及一种带有过程腔(5)的设备(1)，过程腔包括带有用于工件(3)的容纳区域(15)的内部空间(39)。过程腔(5)具有用于输入或输出工件(3)的开口(12、14)。过程腔(5)带有用于将气态流体吹入内部空间(39)的机构(17、19、25、29、33、37、35)地构造，该机构具有至少一个喷嘴(17、19)或孔口用于在开口(12、14)与用于工件(3)的容纳区域(15)之间产生流体流幕帘(21、23)。过程腔(5)具有用于输入新鲜空气的装置(74)，利用该装置可以在流体流幕帘(21、23)的背离开口(12、14)的一侧上将新鲜空气导入到容纳区域(15)中。

主权项

一种带有用于工件的过程腔(5、2005)的设备(1、2001)，所述过程腔包括带有用于工件(3、2003)的容纳区域(15、2015a、2015b、2016)的内部空间(39)且所述过程腔具有用于输入或输出工件(3、2003)的开口(12、14、2015、2017)；以及还带有用于将气态流体吹入内部空间(39)的机构(17、19、25、29、33、37、35、2014)，该机构具有至少一个喷嘴(17、19、2014)或孔口(803)用于在开口(12、14、2015、2017)与用于工件(3、2003)的容纳区域(15、2015a、2015b)之间产生流体流幕帘(21、23、2021)，其特征是用于通过与容纳区域(15、2015a、2015b)连通的循环空气管路系统(72、2041)在容纳区域(15、2015a、2015b)中使气态流体循环的装置(70、2031、2033、2035)，该循环空气管路系统具有通入到容纳区域(15)中的前流通道(75)以及连接在容纳区域上的回流通道(77)，其中，循环的气态流体受导引地穿过用于进行调温的装置(2031、2033)，其中，用于在容纳区域(15、2015a、2015b)中使气态流体循环的装置(70、2031、2033、2035)与用于输入新鲜空气的装置(74、2043)连接，利用该用于输入新鲜空气的装置可以在流体流幕帘(21、23、2021)的背离开口(12、14、2015、2017)的一侧上将新鲜空气导入到容纳区域(15、2015a、2015b)中以及该用于输入新鲜空气的装置为了输入新鲜空气包含至少一条与容纳区域(15、2015a、2015b)连通的管路，所述管路具有用于吸入新鲜空气的开口以及流量控制装置(80、2047)，其中，所述流量控制装置(80、2047)与控制或调节回路(45、2049)连接，控制或调节回路获得用于获取过程腔(5、2005)的状态参数的装置(49、69、73、2051)的信号且根据至少一个所获取的状态参数借助流量控制装置(80、2047)来控制或调节通过用于输入新鲜空气的装置所导入到容纳区域(15)中的新鲜空气的量，其中，装置(2051)被设计用于获取过程腔(5、2005)的来自下面给出的组中的状态参数：i.容纳区域(2015a、2015b、2016)中的气氛的碳含量和/或溶剂含量；ii.布置在容纳区域中的工件(2003)的数量和/或重量和/或类型和/或表面的大小；iii.每个时间单位内被输送到容纳区域中的工件(2003)的数量和/或重量和/或类型和/或表面的大小；iv.来自在用于对循环空气调温的装置中的燃烧器的燃烧腔(2029)的废气的温度；v.从容纳区域(2015a)取出的气态流体的和再次输入到容纳区域(2015a)的气态流体的温差；vi.来自容纳区域(2015a)的、输送给在用于对循环空气调温的装置中的燃烧器的燃烧腔(2029)的气态流体与来自燃烧器的燃烧腔(2029)的废气的温差；vii.每个时间单位内输送给过程腔(2005)的热量。